為深入打好污染防治攻堅(jiān)戰(zhàn),推動(dòng)福建省電子信息產(chǎn)業(yè)綠色低碳高質(zhì)量發(fā)展,福建省生態(tài)環(huán)境廳組織起草了《福建省工業(yè)大氣揮發(fā)性有機(jī)物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》的征求意見稿。其中,半導(dǎo)體分立器件制造作為福建省重點(diǎn)發(fā)展的戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)之一,其相關(guān)排放控制要求備受關(guān)注。本文將就該標(biāo)準(zhǔn)中涉及半導(dǎo)體分立器件制造的關(guān)鍵內(nèi)容進(jìn)行梳理與展望。
一、 標(biāo)準(zhǔn)制定的背景與意義
揮發(fā)性有機(jī)物(VOCs)是形成臭氧和細(xì)顆粒物(PM2.5)的重要前體物,對(duì)大氣環(huán)境和人體健康構(gòu)成威脅。福建省半導(dǎo)體分立器件制造業(yè)規(guī)模位居全國前列,在生產(chǎn)過程中,光刻、刻蝕、清洗、封裝等環(huán)節(jié)均可能使用有機(jī)溶劑、光刻膠、清洗劑等含VOCs的原輔材料,是VOCs排放的重要工業(yè)源之一。
此前,國家層面已出臺(tái)《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》等通用性規(guī)定,但針對(duì)半導(dǎo)體制造業(yè)精細(xì)化和差異化的管控需求尚顯不足。此次福建省制定地方性綜合排放標(biāo)準(zhǔn),旨在結(jié)合本省產(chǎn)業(yè)布局、工藝特點(diǎn)和環(huán)境承載力,實(shí)施更精準(zhǔn)、更嚴(yán)格的VOCs管控,推動(dòng)行業(yè)技術(shù)進(jìn)步與污染減排協(xié)同并進(jìn),為實(shí)現(xiàn)區(qū)域空氣質(zhì)量持續(xù)改善和產(chǎn)業(yè)升級(jí)提供標(biāo)準(zhǔn)支撐。
二、 標(biāo)準(zhǔn)核心內(nèi)容要點(diǎn)(針對(duì)半導(dǎo)體分立器件制造)
- 管控范圍明確:標(biāo)準(zhǔn)適用于現(xiàn)有、新建、改建和擴(kuò)建的半導(dǎo)體分立器件制造企業(yè)或生產(chǎn)設(shè)施的大氣VOCs排放管理,覆蓋從芯片制造到封裝測試的全流程。
- 排放限值加嚴(yán):針對(duì)工藝廢氣排放口,提出了比現(xiàn)行國標(biāo)更為嚴(yán)格的VOCs濃度限值。標(biāo)準(zhǔn)可能區(qū)分不同工藝環(huán)節(jié)(如光刻、刻蝕、擴(kuò)散/離子注入、化學(xué)氣相沉積、清洗、封裝等),設(shè)定差異化的限值要求,體現(xiàn)了精準(zhǔn)治污的思路。對(duì)廠界無組織排放監(jiān)控點(diǎn)的濃度限值也提出了明確要求。
- 全過程控制要求:
- 源頭替代:鼓勵(lì)企業(yè)使用低VOCs含量或零VOCs的原輔材料,如水性清洗劑、高固體分光刻膠等。
- 過程管理:強(qiáng)調(diào)對(duì)含VOCs物料的儲(chǔ)存、轉(zhuǎn)移、輸送、使用及廢棄等全過程密閉化操作要求,減少無組織排放。要求企業(yè)建立臺(tái)賬,記錄含VOCs原輔材料的名稱、使用量、回收量等信息。
- 末端治理:要求企業(yè)對(duì)VOCs廢氣進(jìn)行有效收集與高效治理。根據(jù)廢氣濃度、風(fēng)量、組分等特性,推薦或要求采用吸附、燃燒(TO、RTO、RCO)、冷凝、吸收等組合治理技術(shù),并規(guī)定治理設(shè)施的運(yùn)行維護(hù)與去除效率要求。
- 監(jiān)測與監(jiān)管要求:規(guī)定了企業(yè)應(yīng)按照規(guī)范設(shè)置采樣口和監(jiān)測平臺(tái),定期開展自行監(jiān)測,并保存監(jiān)測報(bào)告。生態(tài)環(huán)境主管部門可通過現(xiàn)場檢查、自動(dòng)監(jiān)測、遙感監(jiān)測等方式進(jìn)行監(jiān)督。標(biāo)準(zhǔn)可能對(duì)重點(diǎn)企業(yè)安裝VOCs在線監(jiān)測系統(tǒng)(如對(duì)總烴或非甲烷總烴)提出引導(dǎo)性或強(qiáng)制性要求。
- 實(shí)施時(shí)間表:征求意見稿通常會(huì)為現(xiàn)有企業(yè)和新建項(xiàng)目設(shè)定不同的達(dá)標(biāo)過渡期,給予現(xiàn)有企業(yè)一定的技術(shù)改造時(shí)間,體現(xiàn)了政策的可操作性。
三、 對(duì)行業(yè)的影響與展望
- 推動(dòng)技術(shù)升級(jí)與綠色發(fā)展:標(biāo)準(zhǔn)的實(shí)施將倒逼半導(dǎo)體分立器件制造企業(yè)加大環(huán)保投入,加快低VOCs生產(chǎn)工藝和高效治理技術(shù)的研發(fā)與應(yīng)用,從源頭和末端雙向發(fā)力,降低環(huán)境負(fù)荷,提升企業(yè)綠色競爭力。
- 優(yōu)化產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu):更嚴(yán)格的環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)將加速淘汰落后產(chǎn)能和不具備升級(jí)改造條件的企業(yè),有利于資源向技術(shù)先進(jìn)、管理規(guī)范的龍頭企業(yè)集中,促進(jìn)福建省半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)的優(yōu)化和整體升級(jí)。
- 面臨挑戰(zhàn)與機(jī)遇并存:短期內(nèi),企業(yè)可能面臨設(shè)備改造、運(yùn)行成本上升的壓力,尤其是中小型企業(yè)。但長遠(yuǎn)來看,率先達(dá)到高標(biāo)準(zhǔn)的企業(yè)將在市場準(zhǔn)入、品牌形象、可持續(xù)發(fā)展方面占據(jù)優(yōu)勢。標(biāo)準(zhǔn)也將催生和壯大本地環(huán)保技術(shù)服務(wù)市場(如治理技術(shù)、監(jiān)測服務(wù)等)。
- 協(xié)同減污降碳:高效的VOCs治理工藝(如蓄熱式燃燒)在銷毀有機(jī)物的同時(shí)可實(shí)現(xiàn)熱能回收,有助于企業(yè)節(jié)能降耗。標(biāo)準(zhǔn)的實(shí)施有望促進(jìn)污染物與溫室氣體的協(xié)同減排。
目前,該標(biāo)準(zhǔn)尚處于征求意見階段,相關(guān)限值、具體要求及實(shí)施細(xì)節(jié)可能根據(jù)反饋進(jìn)行優(yōu)化調(diào)整。建議省內(nèi)半導(dǎo)體分立器件制造企業(yè)密切關(guān)注標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)展,提前開展現(xiàn)狀評(píng)估與減排規(guī)劃,積極參與意見反饋,共同制定出一部科學(xué)、可行、有效的環(huán)保標(biāo)準(zhǔn),為守護(hù)“福建藍(lán)”和建設(shè)“芯”高地貢獻(xiàn)力量。